MicroST Desktop SEM

MicroST DTE200

台式热发射扫描电子显微镜

预对中钨灯丝电子枪与大样品仓设计,支持二次电子、背散射、导航相机和 IR-CCD 监控,适合常规检测、教学实验与材料表面形貌分析。

≤5 nm@ 30 kV
1-30 kV1 kV 步进
200,000×最高倍率
200 mm样品尺寸
MicroST DTE200 产品高清图

Highlights

亮点功能

预对中钨灯丝

热发射电子枪维护直观,适合高频常规检测与教学场景。

静电透镜设计

样品室内无漏磁,可对铁磁性材料进行无畸变成像。

四通道成像

可同时获得二次电子像与背散射电子图像,提升观察效率。

大样品仓

抽屉式拉门样品室,支持最大 200 mm 样品与 50 mm 厚度。

Specifications

规格参数

分辨率≤5 nm @ 30 kV(二次电子)。
放大倍率30 - 200,000 倍,随加速电压和工作距离自动校准。
加速电压1 kV - 30 kV,1 kV 步进连续可调。
电子枪与束流预对中钨灯丝;落地束流 10 pA - 50 nA;支持 Beam Shift。
工作距离5 - 50 mm;能谱 36° 出射角分析时,工作距离可近到 13.5 mm 以内。
样品室抽屉式拉门,内径/宽度不小于 220 mm,高度不小于 150 mm。
样品台三轴全自动马达样品台,X/Y 70 mm,Z 50 mm;配 19 孔样品座。
探测器样品室二次电子探测器、固定式背散射探测器、IR-CCD 监控相机、导航相机;预留 EDS、EBSD、CL 接口。
真空系统高性能无油涡旋分子泵与前级机械泵;样品室真空优于 10E-2 Pa。
图像记录预览 640×480;最大 8192×6144 像素;支持 TIFF、BMP、PNG、JPEG。
控制系统MicroST EBeamView 客户端软件,多功能旋钮控制面板,集成式控制台、键盘与鼠标。

Applications

应用案例

精密颗粒

精密颗粒

观察颗粒形貌、尺寸分布与表面细节。

材料断面

材料断面

用于断口、截面和多相材料微观结构分析。

表面分布

表面分布

辅助观察表面颗粒、缺陷与微区形貌变化。