场发射电子光学
肖特基热场发射电子枪与 MicroST-P 高性能筒镜系统，兼顾束流稳定性与高信噪比成像。
MicroST Electron Optics
MicroST DTF100
台式场发射扫描电子显微镜
面向材料形貌表征、微观结构分析、半导体、新能源、金属陶瓷与生物样品分析，支持能谱、EBSD、扫描透射、阴极荧光与原位模块扩展。
1 nm@ 15 kV
0.5-30 kV连续可调
100万×最高倍率
五轴优中心样品台
Highlights
亮点功能
低压高分辨
0.5 kV 至 30 kV 连续可调，镜筒内加减速功能提升低电压条件下的表面细节表现。
多探测器组合
支持 In-Lens、ETD、BSED、IR-CCD 与导航相机，覆盖高倍率、三维形貌与成分衬度观察。
智能软件生态
MicroST EBeamView、MicroStitch 与 MicroST SEG 支持自动成像、拼接、分割、粒径统计和自动上色。
Specifications
规格参数
电子枪类型肖特基热场发射电子枪（TFEG），MicroST-P 高性能筒镜系统。
加速电压0.5 kV - 30 kV 连续可调，具备 Beam Booster 镜筒内加减速功能。
二次电子分辨率1 nm @ 15 kV；1.5 nm @ 1 kV。
放大倍率10 倍 - 100 万倍，全倍率自动校准。
电子束流1 pA - 20 nA，束流稳定性 < 0.2 %/h。
探测器In-Lens、ETD、BSED、IR-CCD、样品室外彩色导航相机；可选 EDS、STEM、EBSD、CL 与原位配件。
样品台五轴优中心电动样品台，X/Y 50 mm，Z 30 mm，倾斜 -10° - +70°，360° 连续旋转。
样品尺寸标准最大样品直径 100 mm，最大厚度 30 mm。
软件系统MicroST EBeamView；可选 MicroStitch 自动拼接与 MicroST SEG 图像分析软件。
Applications
应用案例
材料微结构
面向层状材料、断面形貌和微纳结构细节的高分辨观察。
新能源颗粒
用于颗粒尺寸、团聚状态、表面形貌与分布一致性分析。
生物样品
适合复杂表面纹理、微孔结构和生物样品形貌研究。