近日,第十六届中国国际纳米技术产业博览会(CHInano 2026)于10月21‑22日在苏州国际博览中心盛大举办。作为国内纳米技术领域极具影响力的年度行业盛会,本届纳博会汇聚纳米全产业链企业与科研工作者。
国镜仪器亮相精密检测专区703展位,集中展示台式扫描电镜三代电子光源技术与多行业应用解决方案。展会期间,国镜仪器接受行业媒体化工仪器网“逛展直播”栏目现场专访,实现展位现场交流、媒体专访双线并行。

三代电子光源,覆盖六大应用领域
本届纳博会上,国镜仪器完整呈现台式电镜技术布局。MicroST 系列覆盖 DTE200、DTE300(钨灯丝)、DTF100(热场发射)与 DCF200(冷场发射),三代电子光源并行,构成从常规形貌观察到高分辨分析的能力梯度,可对应不同预算与不同精度要求的检测场景。

配套产品线同步带来六大应用领域解决方案:半导体领域晶圆量测与失效分析,适配光刻、刻蚀后检测环节;新材料方向面向航天隔热涂层等相变吸热材料开展研究;新能源锂电聚焦正负极、隔膜材料表征;光伏支持钙钛矿电池、黑硅电池研发;生物医药可完成载药微球表面表征;地质领域用于矿石金银元素分布筛选。现场交流中,国镜参与嫦娥五号、六号月壤样品相关测试的项目经历,也受到众多观众关注。

展会现场,来自半导体、新材料、新能源、光伏、生物医药、地质等领域的专业来宾陆续到访703展位。不少到访观众不只咨询设备参数,还携带实际样品、提出真实检测难题,国镜团队围绕成像方案设计、样品制备、参数选型以及后续验证路径逐一解答。

专访:精度、稳定与使用门槛
展会期间,行业媒体化工仪器网“逛展直播”栏目走进国镜703展位,国镜仪器市场部负责人孙鹏飞接受现场专访。
谈及技术历程,孙鹏飞介绍,冷场扫描电子技术海外在 2000 年前后即实现商品化,长期处于领先地位,直到 2022 年前后才被美国企业突破;而国镜的技术积累始于上世纪九十年代中国科学技术大学的电子光学模拟仿真研究,2016 年完成冷场电子枪关键部件攻关,2023 年成立公司转向整机研发,2024 年公司成立一周年时发布台式冷场扫描电镜产品,此后钨灯丝与热场发射产品相继推出。“到今天,三代技术路线我们都有了。”

针对现场观众最为关心的设备分辨能力、连续运行可靠性、操作使用门槛三大问题,孙鹏飞作出解读:精度层面,第三代冷场机型具备纳米级分辨能力;稳定性方面,公司自成立起便安排设备开展7×24小时不间断耐久运行,累计运行时长接近一万小时;同时安排工作人员以六大行业真实样品,每日12小时、每周6天开展压力测试,测试问题直接反馈研发团队快速迭代;使用门槛上,设备搭载全中文操作界面与AI辅助成像功能,无仪器专业背景人员经过半天培训即可上手操作。
“国产设备真正缺少的,是长期市场时间验证。”孙鹏飞谈到,目前市场缺少足够长周期的现场使用数据,国镜选择以高密度内部压力测试,尽可能压缩这一验证周期。
谈及本次参展期待,他希望更多行业用户能够看到国产电镜的技术进展,在设备选型采购时能够关注国镜仪器,“性能与稳定性都经得起长期实际工况检验。”
结语
纳米,是肉眼不可见的微小尺度。国镜仪器选择两样标尺去丈量它:一是技术精度,二是时间沉淀。
从冷场电子枪关键零部件攻关,到完整三代电子光源产品线成型,团队的技术积累跨越二十余年,走完技术攻关的漫漫长路。上万小时不间断设备耐久运行,淬炼台式设备的纳米级分辨能力,则是另一条慢而不易被看见的验证之路。
在看不见的尺度上,把时间变成信任,这也是国镜仪器对于国产替代最朴素的理解。
感谢莅临 703 展位与关注本次专访的每一位专家学者和行业同仁,期待与您下届纳博会再会!